发明名称 | 通过合适的热处理制造光伏器件的方法 | ||
摘要 | 一种制造光伏器件的方法包括:在光伏器件的衬底之上形成吸收层的步骤,在吸收层上方形成缓冲层的步骤,以及以第一加热速率将光伏器件预加热至选择的温度的步骤。第一加热速率大于5℃/分钟。该方法还包括在预加热光伏器件的步骤之后,在选择的温度下在缓冲层上方形成正面接触层的步骤。本发明还提供了通过合适的热处理制造光伏器件的方法。 | ||
申请公布号 | CN104952982B | 申请公布日期 | 2017.03.01 |
申请号 | CN201410253868.2 | 申请日期 | 2014.06.09 |
申请人 | 台湾积体电路制造股份有限公司 | 发明人 | 王晨昀 |
分类号 | H01L31/20(2006.01)I | 主分类号 | H01L31/20(2006.01)I |
代理机构 | 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 | 代理人 | 章社杲;孙征 |
主权项 | 一种制造光伏器件的方法,包括:在所述光伏器件的衬底之上形成吸收层;在所述吸收层上方形成缓冲层;在热预算小于150000度*秒的情况下,以大于5℃/分钟的第一加热速率将所述光伏器件预加热至选择的温度,所述选择的温度在从150℃至200℃的范围内,其中,在所述预加热期间将所述热预算限定为温度相对于时间的积分;以及在预加热所述光伏器件的步骤之后,在所述选择的温度下在所述缓冲层上方形成正面接触层。 | ||
地址 | 中国台湾新竹 |