用于基板处理的直流灯驱动器

摘要

本文提供用于在处理腔室内加热基板的方法及设备。在一些实施例中，一种用于在处理腔室内加热基板的设备包括：灯群组，所述灯群组包含一或更多组灯，用于在基板设置于处理腔室内时提供辐射能来加热所述基板，其中每组灯包含多个串联线接的灯，且其中每组灯相对于所述一或更多组灯中的其他组灯并联线接；交流(AC)电源，所述交流电源用于产生交流输入波形；以及灯驱动器，所述灯驱动器用于为灯群组供电，灯驱动器包括整流器，所述整流器耦接至交流电源以将交流输入波形转换成直流电压；以及直流‑直流(DC/DC)变换器，所述直流‑直流变换器用于降低直流电的电压。

主权项

一种用于在处理腔室内加热基板的设备，包含：多个灯群组，所述多个灯群组的每个灯群组包含一或更多组灯以提供辐射能以当基板设置于所述处理腔室内时加热所述基板，其中每组灯包含多个灯，全部的所述多个灯在所述每组灯内串联线接，且其中所述每组灯相对于所述一或更多组灯内的其他组灯并联线接；多个直流‑直流变换器，耦接至所述多个灯群组的每个灯群组，以降低所述多个灯群组的每个灯群组的电压；一三相交流(AC)电源，所述三相交流电源用于产生三相交流输入电压；一灯驱动器，所述灯驱动器耦接至所述三相交流电源和全部的所述多个灯群组，以控制所述多个灯群组，每个灯驱动器包含整流器，所述整流器耦接至所述交流电源，用于将所述三相交流输入电压转换成直流电压；以及一滤波电容器，所述滤波电容器耦接至所述灯驱动器和全部的所述多个灯群组，所述滤波电容器过滤来自所述整流器的所述直流电压。