真空泵

摘要

本发明提供一种真空泵，抑制由于分割固定叶片部在对接部产生重叠或翘曲而导致组装时固定叶片部发生变形。固定叶片部(70)是使分割固定叶片部(70A、70B)的径向两个对接端部对接而形成为一个轮。在分割固定叶片部(70A)的外周轮圈(73a)上，设置着从对接面在圆周方向上切去部分而成的缺口(K)，在组装时分割固定叶片部(70A)的外周轮圈(73a)与分割固定叶片部(70B)的外周轮圈(73b)的端部(73b2)形成间隙(S)。

主权项

一种真空泵，包含排气功能部，该排气功能部是在配置为多段的可动叶片部间分别配置固定叶片部而成，所述固定叶片部是由间隔件夹持，该真空泵的特征在于：所述固定叶片部包含两片以上的分割固定叶片部，所述分割固定叶片部各自在周方向的两端部包含对接端部，将各分割固定叶片部各自的对接端部相互对接而形成所述固定叶片部，所述分割固定叶片部各自包含：由所述间隔件夹持的外周轮圈；位于所述固定叶片部的内周侧前端的内周轮圈；及多个定子叶片，在所述外周轮圈与所述内周轮圈之间以规定宽度在周方向上呈辐射状延伸，且以规定的叶片角度相对于固定叶片部主体倾斜而形成多个排气开口，所述多个分割固定叶片部在相互对接的外周轮圈的对接端部，在至少其中一个外周轮圈上形成着缺口，所述缺口在相对向的另一个外周轮圈之间形成间隙。