通电的静电法拉第屏蔽用于修复ICP中的介电窗

摘要

本发明涉及通电的静电法拉第屏蔽用于修复ICP中的介电窗，具体公开了各种实施方式，包括具有多个电引线的静电屏，其在等离子体处理腔室中使用。提供多个瓣状件组，每个瓣状件组包括大致平坦的结构，其中，每个瓣状件组被电连接到多个电引线中的至少一个，并且其中，每个瓣状件组与任何其它瓣状件组绝缘，其中，多个瓣状件组形成围绕垂直轴的径向对称。每个基本平坦的结构包括导电环的一部分和多个导电的瓣状件，每个导电的瓣状件连接到导电环的所述部分，其中，所述至少一个电引线被连接到基本上等电位的每个瓣状件组。

主权项

一种在等离子体处理室中使用的具有多个电引线的静电屏，包括：多个瓣状件组，每一个瓣状件组包括基本平的结构，其中每个瓣状件组与任何其他瓣状件组绝缘，并且其中每个瓣状件组电连接到所述多个电引线中的至少一个，并且其中所述多个瓣状件组形成围绕垂直轴的径向对称；和每个基本平的结构包括导电环的一部分，和多个导电瓣状件，每个导电瓣状件连接到所述导电环的一部分，并且除了所述导电瓣状件连接到所述导电环的一部分的地方，每个导电瓣状件与其他导电瓣状件绝缘，其中所述至少一个电引线被连接到每个瓣状件组中的基本等电位位置。