| 发明名称 | 层叠体的剥离装置和剥离方法及电子器件的制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及层叠体的剥离装置和剥离方法及电子器件的制造方法。对于层叠体的剥离装置，该层叠体以能够剥离的方式借助吸附层粘贴第1基板和第2基板而成，其特征在于，该层叠体的剥离装置包括：激光束照射构件，通过对所述层叠体的外周缘部的一部分照射激光束、使所述吸附层的一部分气化而去除该部分，在所述外周缘部的一部分制作剥离开始部；液体供给构件，其向所述剥离开始部供给液体，且向所述第1基板与所述吸附层之间的间隙或所述第2基板与所述吸附层之间的间隙供给所述液体；以及剥离构件，其以所述剥离开始部为起点使所述第1基板和所述第2基板相对分开而剥离。 | ||
| 申请公布号 | CN106469682A | 申请公布日期 | 2017.03.01 |
| 申请号 | CN201610695059.6 | 申请日期 | 2016.08.19 |
| 申请人 | 旭硝子株式会社 | 发明人 | 角田纯一;松山祥孝;渡边满 |
| 分类号 | H01L21/78(2006.01)I;B32B38/10(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/78(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人 | 刘新宇;张会华 |
| 主权项 | 一种层叠体的剥离装置，该层叠体以能够剥离的方式借助吸附层粘贴第1基板和第2基板而成，其特征在于，该层叠体的剥离装置包括：激光束照射构件，通过对所述层叠体的外周缘部的一部分照射激光束、使所述吸附层的一部分气化而去除该部分，在所述外周缘部的一部分制作剥离开始部；液体供给构件，其向所述剥离开始部供给液体，且向所述第1基板与所述吸附层之间的间隙或所述第2基板与所述吸附层之间的间隙供给所述液体；以及剥离构件，其以所述剥离开始部为起点使所述第1基板和所述第2基板相对分开而剥离。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||