| 摘要 |
적절한 온도 조건에서 코팅막을 형성할 수 있는 코팅막이 형성된 절삭 공구의 성막 장치를 제공한다. 상기 성막 장치는, 절삭 공구에 코팅막을 형성하는 성막실과, 성막실에 진공 밸브를 개재하여 각각 연결된 전처리실 및 후처리실과, 전처리실로부터 성막실을 경유하여 후처리실로 절삭 공구를 반송하는 반송 경로를 구비하고, 절삭 공구를 지지하는 복수의 로드가 반송 방향을 따라 기립 자세로 배치된 반송 캐리어를 사용하는 인라인식의 성막 장치이다. 상기 성막실은, 절삭 공구에 코팅막을 형성하는 성막 영역과, 반송 캐리어를 반송 경로를 따라 반송하면서 성막 영역을 통과시키는 반송 장치와, 성막 영역에 대해 캐리어 반송 방향에 인접하여 배치되고 절삭 공구를 가열하는 가열 영역과, 상기 성막 영역과 상기 진공 밸브 사이에 상기 반송 캐리어를 수용하는 캐리어 대기 영역을 구비한다. |
