| 摘要 |
유기 재료의 정제 장치는 내부에 유기 재료가 공급되는 제 1 내통체 (51), 및 제 1 내통체 (51) 의 외측에 배치되고, 공급된 유기 재료를 기화시키는 가열 히터 (53) 를 구비한 기화기 (5) 와, 기화기 (5) 의 제 1 내통체 (51) 와 연통하는 제 2 내통체 (61), 및 제 2 내통체 (61) 의 외측에 배치되고, 제 2 내통체 (61) 의 온도를 조정하는 온도 조정 히터 (63) 를 구비하고, 기화기 (5) 로 기화시킨 기체상의 유기 재료를 제 2 내통체 (61) 의 내면에서 포집하는 포집기 (6) 와, 제 2 내통체 (61) 의 내부에 배치되고, 제 2 내통체 (61) 의 축 방향을 따라 연장되는 면을 가지고, 기체상의 유기 재료와의 접촉 면적을 증가시키는 제 3 통체 (70) 와, 포집기 (6) 의 하류측 단부에 접속된 진공 펌프 (3) 를 구비하는 것을 특징으로 한다. |
