| 摘要 |
도금 장치의 차폐 유닛은 제 1 차폐판, 조절판 및 회전 구동 기구를 포함할 수 있다. 상기 제 1 차폐판은 전해액이 통과되는 복수개의 제 1 통공들을 가질 수 있다. 상기 조절판은 상기 제 1 차폐판에 맞대어질 수 있다. 상기 조절판은 상기 제 1 통공들의 개구율을 조절하기 위한 복수개의 조절공들을 가질 수 있다. 상기 회전 구동 기구는 상기 개구율 조절을 위해 상기 조절판을 회전시킬 수 있다. 따라서, 조절판의 조절공들이 차폐판의 통공들과 선택적으로 부분적으로 겹치는 것에 의해서 통공들의 개구율이 조절되어, 도금막의 균일도가 향상될 수 있다. |
