| 摘要 |
다수의 조명 영역들을 갖는 검사는 주 조명 방향을 따라 보내진 주 조명 빔을 생성하는 것, 제 1 조명 방향을 따라 주 조명 빔의 부분을 투과시키는 것, 하나 이상의 각도 선택 엘리먼트들로 제 1 조명 방향과는 상이한 제 2 조명 방향을 따라 주 조명 빔의 부분을 편향시키는 것, 주 조명 빔의 투과된 부분을 기판의 제 1 검사 영역 상으로 포커싱하는 것, 및 주 조명 빔의 편향된 부분을, 제 1 검사 영역으로부터 공간적으로 분리되는 기판의 제 2 검사 영역 상으로 포커싱하는 것을 포함한다. |
