发明名称 Manufacturing method of self-assembled nanopattern using ligth source
摘要 본 발명은 빛의 조사를 통해 자기조립고분자의 온도를 상승시킴으로써 패턴을 형성하는 것인 나노패턴 제조방법으로, 빛이 조사되는 부분에서 자기조립고분자의 χN을 10.5 이하로 유도하여 완전 무질서상태를 인가한 후 지향성 자기조립을 유도하는 것인 나노패턴 제조방법에 관한 것이다.
申请公布号 KR20170020975(A) 申请公布日期 2017.02.27
申请号 KR20150115131 申请日期 2015.08.17
申请人 한국과학기술원 发明人 김상욱;진형민
分类号 H01L21/027;H01L21/314;H01L29/06 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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