发明名称 |
Manufacturing method of self-assembled nanopattern using ligth source |
摘要 |
본 발명은 빛의 조사를 통해 자기조립고분자의 온도를 상승시킴으로써 패턴을 형성하는 것인 나노패턴 제조방법으로, 빛이 조사되는 부분에서 자기조립고분자의 χN을 10.5 이하로 유도하여 완전 무질서상태를 인가한 후 지향성 자기조립을 유도하는 것인 나노패턴 제조방법에 관한 것이다. |
申请公布号 |
KR20170020975(A) |
申请公布日期 |
2017.02.27 |
申请号 |
KR20150115131 |
申请日期 |
2015.08.17 |
申请人 |
한국과학기술원 |
发明人 |
김상욱;진형민 |
分类号 |
H01L21/027;H01L21/314;H01L29/06 |
主分类号 |
H01L21/027 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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