| 摘要 |
본 발명은 LDI노광장치의 파이버 어레이 블록 및 파이버 어레이 블록의 정렬방법에 관한 것으로서, 베이스기판의 상단 및 하단 각각에 광파이버가 안착되는 제1 및 제2그루브를 형성하고, 상기 제1 및 제2그루브를 역사다리꼴 형상으로 형성한 어레이 블록을 다층 적층시켰을 때, 이웃하는 어레이 블록 사이에 광파이버가 안착되는 파이버 어레이 구조를 제공함으로써, 가공오차 또는 광파이버의 간격 오차를 용이하게 보정할 수 있고, 이로 인해 균일한 노광 품질을 얻을 수 있도록 하는 데 그 목적이 있다. 이를 위해 본 발명은, 다수의 광파이버를 고정 및 정렬상태를 유지시키도록 사용되는 LDI노광장치의 파이버 어레이 블록에 있어서, 베이스기판(12)과; 상기 베이스기판(12)의 상단에 일정깊이를 가지고 일정간격으로 형성되는 제1그루브(14); 및 상기 베이스기판(12)의 하단에 일정깊이를 가지고 일정간격으로 형성되고 상기 제1그루브(14)의 중심과 중첩되지 않도록 교호되는 위치에 형성되어 이웃하는 어레이 블록(1) 사이에 광파이버(2)가 안정적으로 고정된 상태를 유지할 수 있도록 하는 제2그루브(16);를 포함하는 것을 특징으로 한다. |
