| 摘要 |
Винахід належить до галузі металургії, а саме - до способу і пристрою для нанесення теплозахисних покриттів на деталь. Спосіб полягає в тому, що деталь розміщують в камері осадження та перший електричний потенціал подають на деталь. Компоненти матеріалу осадження розпилюють і в газовій фазі іонізують. Перший електричний потенціал модулюють так, щоб притягувати іонізовані компоненти до деталі. Модуляція включає множину перших стадій для ППФО - плазмового парофазного осадження. Кожна з перших стадій включає серію імпульсів негативного потенціалу. Модуляція включає також множину других стадій для ПФО - безплазмового парофазного осадження, які чергуються з першими стадіями. Винахід забезпечує підвищення якості та адгезійної міцності покриття, що осаджується на деталь. |
