Transfer Chamber of Semiconductor Manufacturing

摘要

본 발명은 반도체제조용 이송챔버에 관한 것으로서, 본 발명의 일실시예는, 이송챔버 내부의 상부에 설치되는 공기정화필터, 공기정화필터의 상부에서 이송챔버와 연결되는 적어도 한개 이상의 공기 및 질소유입챔버, 공기 및 질소유입챔버와 연결되어 질소를 공급하는 질소공급관, 공기 및 질소유입챔버의 내부에 설치되는 히터를 포함하는 반도체제조용 이송챔버를 제공한다.