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체적 음향 공진기 구조 및 제조 방법을 제공한다. 체적 음향 공진기는 하면의 소정 영역에 비아홀(via)이 형성된 제1 기판, 상기 제1 기판의 상부에 제1 공기 공동이 형성되고, 상기 제1 공기 공동 상부에 하부전극, 압전층, 상부전극의 순서로 적층된 제1 적층 공진부, 상기 제1 기판의 상부에 제2 공기 공동이 형성되고, 상기 제2 공기 공동 상부에 상기 하부전극, 상기 압전층, 상기 상부전극의 순서로 적층된 제2 적층 공진부 및 상기 제1 적층 공진부와 상기 제2 적층 공진부가 상기 하부전극 또는 상기 상부전극을 통하여 연결되고, 상기 제1 적층 공진부와 상기 제2 적층 공진부 사이에서 상기 연결된 하부전극 또는 상부전극의 하면에 제3 공기 공동이 형성된 제1 전극부를 포함한다. |
