炭化珪素単結晶及びその製造方法

摘要

本発明は、１．０×１０１６（ｃｍ−３）以上の濃度でＴｉを含有し、かつｎ型キャリア密度が３．０×１０１８（ｃｍ−３）以下である、炭化珪素単結晶を提供する。