| 摘要 |
積層セラミックコンデンサなどの素子厚みの薄層化に対応できるように、粒径が８０〜１５０ｎｍと微細にもかかわらず、正方晶性の高いチタン酸バリウム粉末を製造することができるチタン酸バリウムの製造方法を提供する。最終的に製造されるチタン酸バリウム粉末よりも微粒なチタン酸バリウム粉末をたとえばエタノールなどの溶媒中に分散することによってスラリーを作製する。そして、製造装置１０の高圧容器２０中において、スラリー中の溶媒をたとえば二酸化炭素ガスから構成された超臨界流体に置換する。それから、超臨界流体を気化することによってチタン酸バリウム粉末を分離する。そして、分離したチタン酸バリウム粉末を熱処理する。それによって、チタン酸バリウム粉末を製造する。 |
