| 摘要 |
【課題】加熱を伴う製造関連処理後であっても、支持ガラスからガラスフィルムを容易かつ安価に剥離可能とするガラスフィルムの製造方法及び電子デバイスの製造方法を提供する。【解決手段】製造関連処理前のガラスフィルム１１と支持ガラス１２とを積層してガラスフィルム積層体１を作製する第１の工程と、ガラスフィルム積層体１におけるガラスフィルム１１への加熱を伴う製造関連処理を行う第２の工程と、前記製造関連処理後のガラスフィルム積層体１を、製造関連処理を施して得たガラスフィルム１１と支持ガラス１２とに分離する第３の工程と、を有するものであって、第３の工程において、ガラスフィルム積層体１におけるガラスフィルム１１と支持ガラス１２との界面１３に圧力を有する液体４を付与しながら、ガラスフィルム１１及び支持ガラス１２のいずれか一方から他方を引き剥がすガラスフィルムの製造方法。 |
