| 摘要 |
従来技術では、アクチュエータの小型化に関する配慮が十分ではない。本発明は、実質的な直方体である筐体と、前記筐体内に配置される直動装置と、前記筐体内に配置される回転装置と、を有し、前記筐体は、第１の面積を有する第１の面、及び前記第１の面積よりも小さい第２の面積を有する第２の面を含み、前記直動装置の少なくとも一部と前記回転装置の少なくとも一部とを通過する面は、前記第２の面を通過し、前記回転装置の回転軸と前記直動装置の軌跡とは実質的に一致することを１つの特徴とする。本発明によればアクチュエータを従来よりも小型化できる。その結果、処理装置にはより多くのアクチュエータを搭載することができる。 |
