| 摘要 |
【課題】記録ヘッドの検査に用いる磁気力顕微鏡（ＭＦＭ）の設備を利用し、読み出しヘッドの磁気検出素子の外観を検査する。【解決手段】先端部分に磁性探針７１が形成されたカンチレバー７を、磁気検出素子５が搭載された磁気ヘッド（スライダ２）の表面に対してスキャン移動させる。カンチレバー７の磁性探針７１が発生する磁界による、磁気検出素子５の出力信号の変化を、検出装置９１，９２，９３により検出して検出信号を出力する。検出装置９１，９２，９３の検出信号を、画像処理装置９４により処理して、磁気検出素子５の画像を示す画像信号を作成し、画像処理装置９４により作成した画像信号から、磁気検出素子５の形状を測定する。【選択図】図３ |
