| 摘要 |
【課題】複数の装着部で同時にリークの有無を確認して、複数の装着部における被装着体の装着状態をそれぞれ個別に評価できる製造装置の評価方法を提供する。【解決手段】工具保持部材１２に専用工具１１が装着される。工具保持部材２２に専用工具２１が装着される。工具保持部材３２に専用工具３１が装着される。吸引孔１３は、工具保持部材１２に対する専用工具１１の装着に伴って封止される。吸引孔２３は、工具保持部材２２に対する専用工具２１の装着に伴って封止される。吸引孔３３は、工具保持部材３２に対する専用工具３１の装着に伴って封止される。制御部１１０は、排気過程における配管５の配管内空気の圧力を圧力センサ２により検知する。制御部１１０は、検知された配管内空気の圧力に基づいて、工具保持部材１２、２２に対する専用工具１１、２１の装着状態を個別に評価する。【選択図】図２ |
