| 摘要 |
본 발명은 이중 노즐을 갖는 분무 열분해 장치에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 인라인 분무 열분해 박막 형성 장치는 기판을 지지하여 이송하는 지지 장치, 상기 기판의 이송 방향에 대하여 역방향으로 제 1 전구체 스트림을 제공하여 제 1 퇴적 영역을 정의하는 제 1 노즐부, 상기 기판의 이송 방향을 기준으로 상기 제 1 노즐부의 후방에 배치되고, 상기 기판의 이송 방향에 대하여 순방향으로 제 2 전구체 스트림을 제공하여 제 2 퇴적 영역을 정의하는 제 2 노즐부 및 상기 제 1 퇴적 영역 및 상기 제 2 퇴적 영역 사이에 성막 전이 영역을 포함할 수 있다. |
