发明名称 太陽電池の製造方法
摘要 本発明に係る太陽電池の製造方法では、次の工程を含む。アルミニウム元素を含む溶液(14)をミスト化する。そして、大気中において、ミスト化された溶液(14)を、p型シリコン基板(4)の主面に対して噴霧することにより、酸化アルミニウム膜(5)を成膜する。そして、当該酸化アルミニウム膜5が形成されたp型シリコン基板を用いて太陽電池を作製する。
申请公布号 JPWO2015004767(A1) 申请公布日期 2017.02.23
申请号 JP20150526090 申请日期 2013.07.11
申请人 東芝三菱電機産業システム株式会社;国立大学法人京都大学;高知県公立大学法人 发明人 平松 孝浩;織田 容征;白幡 孝洋;川原村 敏幸;藤田 静雄
分类号 H01L31/0216;H01L31/068 主分类号 H01L31/0216
代理机构 代理人
主权项
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