| 摘要 |
ひずみセンサの初期ゼロ点の出力オフセット及び温度変化に伴うゼロ点の出力変動を改善した圧力センサを得ること。本発明の圧力センサは、上記課題を解決するために、圧力により変形する薄膜部と支持部から成る第１の材料で形成されたダイアフラムと、該ダイアフラム上に接合され、第２の材料に複数のひずみゲージを形成しているひずみセンサとを備え、前記ひずみセンサが前記ダイアフラムの中心から離れた端部位置に接合されており、しかも、前記ダイアフラム中心から前記ひずみセンサが接合された方向に対して垂直な方向で、かつ、前記ひずみセンサと隣接又は所定距離離れたダイアフラム上に段差が形成されていることを特徴とする。 |
