| 摘要 |
剥離装置は、第一領域と、第一領域の外側の領域である第二領域とを有し、第二領域が第一領域から切り離された状態で、第一領域および第二領域の一面側に設けられた粘着層によって第二領域が第一領域に接続された可撓性のシート片に対し、第一領域から第二領域を剥離するための剥離装置であって、吸着面を有する吸着テーブルと、シート片の第二領域をチャック可能なチャック部と、チャック部によってシート片の第二領域がチャックされた状態でチャック部と吸着テーブルとを吸着面の法線方向に相対移動させることにより、シート片の第二領域をシート片の第一領域から剥離させる移動装置と、を含む。 |
