感放射線性樹脂組成物、レジストパターン形成方法、酸拡散制御剤、化合物及び化合物の製造方法

摘要

本発明は、酸解離性基を含む構造単位を有する重合体、及び下記式（１）で表される化合物を含有する感放射線性樹脂組成物である。下記式（１）中、Ｒ１は、炭素数１〜３０の１価の有機基である。Ｌは、単結合、酸素原子又は硫黄原子である。Ｍ＋は、１価の放射線分解性オニウムカチオンである。式（１）におけるＲ１の１価の有機基が１価の炭化水素基又は１価のフッ素化炭化水素基であり、Ｌが単結合であることが好ましい。式（１）におけるＲ１の１価の有機基が１価の炭化水素基、１価のフッ素化炭化水素基、１価の脂肪族複素環基又は１価のフッ素化脂肪族複素環基であり、Ｌが酸素原子又は硫黄原子であることも好ましい。上記Ｍ＋の１価の放射線分解性オニウムカチオンが下記式（Ｘ）で表されることが好ましい。感放射線性酸発生体をさらに含有することが好ましい。