| 摘要 |
耐熱性に優れ且つ疎水性を有する微細な凹凸構造を有する基板、該基板の製造に用いる溶液、及び該基板の製造方法を提供する。凹凸構造を有する基板は、平滑膜時における水の接触角が８０度以上となるゾルゲル材料からなる凹凸構造を備える。前記基板は、ゾルゲル材料からなる凹凸構造層を備えることで、耐熱性、及び耐食性に優れ、その基板を組み込んだ素子の製造プロセスにも耐性がある。さらに、本発明の凹凸構造を有する基板は、疎水性の表面を有するため、本発明の基板を組み込んだ素子は、基板表面への水分吸着を抑えることができ、素子の長寿命化が可能となる。 |
