試料観察装置用のテンプレート作成装置及び試料観察装置

摘要

設計データを用いて画像処理用のテンプレートを作成する試料観察装置用のテンプレート作成装置は、複数のプロセス処理に関する情報を定義したプロセス情報を格納する記憶部と、プロセス情報を用いて設計データを加工処理し、画像処理用のテンプレートを作成するテンプレート作成部と、を備える。