| 摘要 |
본 발명은 글라스기판이 자체하중에 의하여 처지는 것을 보완해주기 위한 리프트모듈 및 이를 이용한 기판이송로봇핸드에 관한 것으로, 본 발명에 따르면 상측이 상기 글라스기판의 하측면 일부 부분에 접하여 상기 글라스기판의 일부 부분을 받쳐주는 볼샤프트; 및 상기 볼샤프트의 하측에 마련되며, 상기 글라스기판의 일부 부분이 처지지 않도록 상기 볼샤프트를 상승 또는 하강시키는 리프터;를 포함하되, 상기 볼샤프트는, 상기 글라스기판의 하측 면에 점(point)으로 접하는 지지볼; 상기 지지볼의 하측에 마련되어 상기 지지볼을 탄력적으로 받쳐주는 스프링부재; 및 상측단에 상기 지지볼이 위치하고, 내측의 빈 공간에 상기 스프링부재를 내재하며, 상기 지지볼이 위치이탈되지 않도록 홀딩시켜주는 지지파이프;를 포함하기 때문에 글라스기판을 각종 챔버측으로 이동시키기 위하여 기판이송로봇핸드에 글라스기판이 위치하는 동안에 자체 하중에 의하여 처짐으로써 야기되는 글라스기판의 변형 발생을 억제시키어 글라스기판의 변형으로 인한 제품불량이 발생하는 것을 감소 내지 억제시킬 수 있는 기술이 개시된다. |
