| 摘要 |
【課題】被検体の位置を精度よく計測するために有利な計測装置を提供する。【解決手段】被検体の位置を計測する計測装置は、光を再帰反射する複数の反射体が配列された反射面を有する、前記被検体に設けられた反射部と、第１光を前記反射面に入射させ、前記第１光の前記反射面での反射光である第２光を受光し、前記第２光をミラー部材で反射させることによって生成された第３光を前記反射面に入射させ、前記第３光の前記反射面での反射光である第４光を受光する光学系と、前記光学系で受光された前記第４光と参照光とを検出する検出部と、前記検出部による検出結果に基づいて前記被検体の位置を決定する処理部と、を含み、前記光学系は、前記第１光の光路と前記第２光の光路とのずれが、前記第３光の光路と前記第４光の光路とのずれによって補正されるように構成されている。【選択図】図１ |
