磁気式位置検出装置及び磁気式位置検出方法

摘要

磁性的な性質が異なる第１磁性部（１１ａ）と第２磁性部（１２ａ）とからなる磁極対が磁極対幅２λの周期で配列された磁気スケール（１ａ）と、ｎ個の感磁素子（２１ａ〜２１ｅ）がλ＝ｎＰとなるように感磁素子間隔Ｐで配列された感磁装置（２）とを、予め定めた空隙を隔てて対向配置させ、ｎ個の感磁素子（２１ａ〜２１ｅ）から並列に出力された出力値を解析することにより、感磁装置（２）と磁気スケール（１ａ）間の相対位置をλ／ｎの位置検出分解能として算出する。