基板処理装置および基板処理方法

摘要

【課題】ＩＰＡの消費量を低減しながら、水分濃度が低いＩＰＡを効率的に基板に供給する。【解決手段】水を含むリンス液が水平に保持されている基板に供給された後、リンス液が付着している基板にイソプロピルアルコールを含むＩＰＡ含有液が供給される（時刻Ｔ２〜時刻Ｔ４）。その後、水分濃度が低いＩＰＡ含有液が基板に供給される（時刻Ｔ４〜時刻Ｔ５）。基板に供給されたＩＰＡ含有液は、再び基板に供給するために回収される。【選択図】図５