发明名称 ガス供給管および熱処理装置
摘要 ガス供給管(1)は、一端が閉じられており、管壁に長さ方向に配列された複数の貫通孔(3)を備える外側管(2)と、一端がガス供給源に接続され、外側管(2)の内部に挿入される内側管(5)とを含む。ガス供給源から供給されたガスは、内側管(5)を通り、外側管(2)の内部に形成された外側管(2)と内側管(5)との隙間(7)を通り、外側管(2)の複数の貫通孔(3)から周囲空間に放出される経路で流れる。供給されたガスは、内側管を流れる間と、外側管(2)と内側管(5)との隙間を流れる間に、ガス供給管(1)に伝わった周囲空間の温度により加熱または冷却される。内側管(5)は、内側管(5)の内容積と同一の内容積を有する円筒と比べて、内側管(5)を流れるガスとの接触面積を大きくする構造(9)を有する。
申请公布号 JPWO2014203732(A1) 申请公布日期 2017.02.23
申请号 JP20150522731 申请日期 2014.06.04
申请人 株式会社村田製作所 发明人 瀬川 敦;多田 泰志;松岡 祥
分类号 F27D7/02;F27B9/04;F27B9/12;F28D7/12;F28F1/16;F28F13/12 主分类号 F27D7/02
代理机构 代理人
主权项
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