摘要 |
ガス供給管(1)は、一端が閉じられており、管壁に長さ方向に配列された複数の貫通孔(3)を備える外側管(2)と、一端がガス供給源に接続され、外側管(2)の内部に挿入される内側管(5)とを含む。ガス供給源から供給されたガスは、内側管(5)を通り、外側管(2)の内部に形成された外側管(2)と内側管(5)との隙間(7)を通り、外側管(2)の複数の貫通孔(3)から周囲空間に放出される経路で流れる。供給されたガスは、内側管を流れる間と、外側管(2)と内側管(5)との隙間を流れる間に、ガス供給管(1)に伝わった周囲空間の温度により加熱または冷却される。内側管(5)は、内側管(5)の内容積と同一の内容積を有する円筒と比べて、内側管(5)を流れるガスとの接触面積を大きくする構造(9)を有する。 |