| 摘要 |
レーザ装置（１００）は、パルスレーザ光（Ｌ）を出力するように構成されたレーザ共振器（２０，３０）と、前記パルスレーザ光の波長を変化させるように構成されたアクチュエータ（３５，３６，３７）と、前記パルスレーザ光を出力する前に前記パルスレーザ光の複数のパルスについての目標波長のデータを受信すると共に前記複数のパルスについての前記目標波長のデータに基づいて前記パルスレーザ光の波長が前記目標波長のデータに近づくように前記アクチュエータを制御するように構成された制御部（１１０）とを含むものであってもよい。 |
