发明名称 導電性ペースト及びそれを用いた半導体装置の製造方法
摘要 鉛、ヒ素、テルル及びアンチモンの有害物質を含むことなく、比較的低温(例えば370℃以下)での接着が可能でありながら、比較的高温(例えば300〜360℃)においても接着強度を維持できる導電性ペースト及びそれを用いた半導体装置の製造方法を提供する。(A)導電性粒子、(B)実質的に鉛、ヒ素、テルル及びアンチモンを含まないガラスフリット、及び(C)溶剤を含む導電性ペーストであって、(B)ガラスフリットは、示差走査熱量計によって測定されるDSC曲線において、吸熱量が20J/g以上の少なくとも1つの吸熱ピークのピークトップによって示される再溶融温度を320℃以上360℃以下に有することを特徴とする、導電性ペーストに関する。導電性ペーストは、さらに(D)酸化スズ、酸化亜鉛、酸化インジウム及び酸化銅からなる群より選ばれる酸化物を含むことが好ましい。(B)ガラスフリットは、(B−1)Ag2O、(B−2)V2O5、及び(B−3)MoO3を含むことが好ましい。
申请公布号 JP2017505977(A) 申请公布日期 2017.02.23
申请号 JP20160547128 申请日期 2015.01.15
申请人 ナミックス株式会社 发明人 ダイエッツ,レイモンド;パテルカ,マチェ;トランブル,キャシー・ショー;坂井 徳幸;山口 博
分类号 H01B1/22;H01L21/52 主分类号 H01B1/22
代理机构 代理人
主权项
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