| 摘要 |
【課題】リリースエッチング時間の短縮を図ることのできる圧力センサー、この圧力センサーを備えた信頼性の高い高度計、電子機器および移動体を提供する。【解決手段】圧力センサー１は、ダイアフラム２４を有する基板２と、空洞部Ｓと、基板２上に配置され、空洞部Ｓの周囲の少なくとも一部を囲む配線部４２１と、配線部４２１上に配置され、空洞部Ｓの周囲の少なくとも一部を囲む配線部４４１と、配線部４４１から延出し、空洞部Ｓの内外を連通する細孔４４４を有する被覆部４４３と、被覆部４４３上に配置され、細孔４４４を封止する封止部４６と、配線部４４１と封止部４６との間に配置された表面保護膜４５と、を有し、表面保護膜４５の空洞部Ｓの端４５１は、空洞部Ｓの外側に位置する。【選択図】図１ |
