Ｃｐ２Ｍｇ濃度測定装置

摘要

【課題】プロセスチャンバーに供給されるＣｐ２Ｍｇの濃度を、自然分解による影響を受けることなく、精度良く測定できるＣｐ２Ｍｇ濃度測定装置を提供する。【解決手段】１２．８μｍの前後所定波長帯域の光強度を測定し、該光強度に基づいて、材料ガス中のＣｐ２Ｍｇの濃度を算出するようにした。【選択図】図４