| 摘要 |
磁化効率を高め、省電力化やコイルへの熱負荷を軽減可能な磁化同軸プラズマ生成装置を提供する。スフェロマックプラズマを生成する磁化同軸プラズマ生成装置は、外部電極１と内部電極２とプラズマ生成ガス供給部３と電源回路４とバイアスコイル５とバイアスコイル用パルス電源６と磁束保持部７と制御部８とからなる。バイアスコイル５は、内部電極の内部に配置され、外部電極と内部電極との間にバイアス磁場を発生する。そして、バイアスコイル用パルス電源６は、バイアスコイルをパルス駆動する。磁束保持部７は、外部電極の外側に配置される。制御部８は、スフェロマックプラズマが生成されるのに必要なバイアス磁場が外部電極と内部電極との間に与えられるのに十分な時間、且つ磁束保持部へのバイアス磁場の磁束の染み込み時間よりも短い時間でバイアスコイルをパルス駆動するようにバイアスコイル用パルス電源を制御する。 |
