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发明名称
ブレイク装置
摘要
【課題】シム板等を用いることなく押圧刃の先端稜線と基板表面との平行度を簡単に調整可能なブレイクバーを備えたブレイク装置を提供する。【解決手段】基板Wを載置するテーブル1と、テーブル1の上方に配置されたブレイクバー10とからなるブレイク装置Aであって、ブレイクバー10は、直線状に並べられた複数の押圧板14を備えるとともに、各押圧板14の間には隙間が設けられている。【選択図】図2
申请公布号
JP2017039272(A)
申请公布日期
2017.02.23
申请号
JP20150162847
申请日期
2015.08.20
申请人
三星ダイヤモンド工業株式会社
发明人
岡島 康智;曽山 正信
分类号
B28D5/00;C03B33/033;H01L21/301
主分类号
B28D5/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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