| 摘要 |
試料観察装置は、凹部である被観察対象部を含む試料に、ある加速電圧によって荷電粒子線を照射する荷電粒子光学カラムと、前記荷電粒子線の照射によって得られる信号から前記被観察対象部を含む画像を取得する画像生成部と、標準試料における凹部と当該凹部の周辺部との明るさ比と、前記標準試料における前記凹部の構造を表す値との関係を示す情報を、予め記憶する記憶部と、前記画像における前記凹部と前記凹部の周辺部との明るさ比を求める演算部と、前記関係を示す情報と前記画像における前記明るさ比とに基づいて、前記被観察対象部における欠陥の有無を判定する判定部と、を備える。 |
