摘要 |
円板状ガラス基板の端面研削処理は、回転する研削砥石の回転軸を、基板の主表面と直交する軸に対して傾斜させて、ガラス基板の一対の面取面を同時に研削する。研削砥石は、ガラス基板の面取面を研削する一対の面取面研削領域を有する溝形状の砥石である。このとき、一対の面取面研削領域は、ガラス基板の中心と研削砥石の回転軸とを結ぶ直線上に位置するガラス基板と研削砥石の接点を基準として、研削砥石の回転方向の前側でガラス基板の面取面と接触する面取面研削領域(A)と、研削砥石の回転方向の後側でガラス基板の面取面と接触する面取面研削領域(B)とからなり、面取面研削領域(A)の開口角は、面取面研削領域(B)の開口角よりも小さいことを特徴とする。 |