| 摘要 |
スライダ（２２）上に配置された６本のロッド部材（２３１〜２３３、２４１〜２４３）を介して、ウエハテーブル（ＷＴＢ）が搭載された支持部材（２５）を実質的にキネマティックに支持する。また、支持部材（２５）のＹ軸方向両端に設けられた薄い板状（平板状）の縁部（２５ｃ）に所定の隙間を介して非接触で対向する連結部材（２９）を配置する。これにより、ウエハテーブル（ＷＴＢ）が搭載された支持部材（２５）の振動が、縁部（２５ｃ）に対向する連結部材（２９）（スクイズダンパ）によって除振される。また、支持部材（２５）が複数のロッド部材を介してキネマティックに支持されているので、スライダ（２２）の変形に伴うウエハテーブル（ＷＴＢ）の変形を低減することが可能になる。 |
