プラズマエッチングガスの回収方法

摘要

【課題】プラズマエッチングに使用されたガスを簡易な構成によって回収して再利用できるようにする。【解決手段】チャンバ２から排気されるガスを水酸化メタルまたは酸化メタルを備える第1のフィルタ４において濾過する第１の濾過工程と、第１の濾過工程後、第１のフィルタ４を通過したガスを中空糸膜６０からなる第２のフィルタ６において濾過する第２の濾過工程とを実施し、簡易な構成でエッチングガスを回収し再利用する。【選択図】図１