发明名称 感光性エレメント、感光性エレメントロール、レジストパターンの製造方法及び電子部品
摘要 支持フィルム10と、保護フィルム(ポリプロピレンフィルム)30と、支持フィルム10及び保護フィルム30の間に配置された感光層20と、を備え、保護フィルム30が、感光層20側の主面30aと、主面30aの反対側の主面30bと、を有し、主面30a及び主面30bが平滑である、感光性エレメント1。
申请公布号 JPWO2014175274(A1) 申请公布日期 2017.02.23
申请号 JP20150513771 申请日期 2014.04.22
申请人 日立化成株式会社 发明人 笹原 直樹;向 郁夫;佐藤 真弓;瀬里 泰洋;安部 攻治;桐生 真奈美
分类号 G03F7/11;G03F7/004;G03F7/027;H05K3/28 主分类号 G03F7/11
代理机构 代理人
主权项
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