发明名称 |
感光性エレメント、感光性エレメントロール、レジストパターンの製造方法及び電子部品 |
摘要 |
支持フィルム10と、保護フィルム(ポリプロピレンフィルム)30と、支持フィルム10及び保護フィルム30の間に配置された感光層20と、を備え、保護フィルム30が、感光層20側の主面30aと、主面30aの反対側の主面30bと、を有し、主面30a及び主面30bが平滑である、感光性エレメント1。 |
申请公布号 |
JPWO2014175274(A1) |
申请公布日期 |
2017.02.23 |
申请号 |
JP20150513771 |
申请日期 |
2014.04.22 |
申请人 |
日立化成株式会社 |
发明人 |
笹原 直樹;向 郁夫;佐藤 真弓;瀬里 泰洋;安部 攻治;桐生 真奈美 |
分类号 |
G03F7/11;G03F7/004;G03F7/027;H05K3/28 |
主分类号 |
G03F7/11 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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