| 摘要 |
欠陥が少なく結晶性に優れた領域を有するシリコンインゴットを簡便に製造するために、本発明のシリコンインゴットの製造方法は、鋳型を準備する第１工程と、前記鋳型内に第１シリコン融液を供給し、該第１シリコン融液を前記鋳型内の底部上において凝固させることで、第１領域と該第１領域上に該第１領域よりも断面におけるエッチング処理によってエッチピットとなり得る欠陥の密度が高い第２領域とを有している第１凝固層を形成する第２工程と、前記鋳型内の前記第１凝固層上に第２シリコン融液を供給し、該第２シリコン融液を前記第１凝固層から上方に向かう一方向に凝固させて、前記第２領域よりも断面におけるエッチング処理によってエッチピットとなり得る欠陥の密度が低い第３領域を有する第２凝固層を形成する第３工程と、を有する。 |
