スイッチング素子のプログラム方法

摘要

スイッチング素子の高信頼化と高密度化を実現するために、本発明のスイッチング素子のプログラム方法は、第１のパルス電圧を第１電極あるいは第２電極に与えることで抵抗変化膜の抵抗値Ｒを増減させるプログラムをし、前記抵抗値Ｒを測定し、前記測定された前記抵抗値Ｒが所望の値であるか否かを判定するベリファイをし、前記抵抗値Ｒが所望の値でない場合に、前記抵抗値Ｒに基づいて前記第１のパルス電圧と同じ極性の第２のパルス電圧を、前記第１のパルス電圧と同じ電極に与える再プログラムをする。