共振周波数調整モジュール

摘要

本発明は、角速度を検出するＭＥＭＳセンサを構成する共振周波数調整モジュールであって、可動電極と、この可動電極と対向しキャパシタを形成する固定電極と、上記可動電極を一方向に変位可能に支持する弾性体とを備え、上記可動電極及び固定電極のキャパシタを形成する対向面がそれぞれ変位方向に対して傾斜しており、可動電極と固定電極とに挟まれる領域において可動電極の移動によって体積が減少しない体積一定領域を有する。