画像取得装置、試料のフォーカスマップを作成する方法及びシステム

摘要

画像取得装置１では、試料Ｓに対する対物レンズ２５の視野位置Ｖを移動させつつ、試料Ｓに対する対物レンズ２５の焦点位置を対物レンズ２５の光軸方向に往復動させている。これにより、試料Ｓに対する対物レンズ２５の視野位置Ｖの移動と共に、視野位置Ｖでの画像データのコントラスト情報を順次取得できる。また、画像取得装置１では、対物レンズ２５の焦点位置の往復動に応じて撮像素子６のローリング読み出しによる画像データの取得を実施している。このため、対物レンズ２５の焦点位置のスキャンごとに算出される合焦点情報の数も安定し、フォーカスマップを迅速かつ精度良く作成できる。