| 摘要 |
【課題】広い測定範囲の輪郭形状と、微少な凹凸形状の両方を測定することができる形状測定機を提供する。【解決手段】被測定物の表面の輪郭形状と、表面粗さと、を測定する形状測定機であって、支持部を支点として揺動するアームと、前記被測定物に接触し、前記被測定物の表面形状に合わせて上下に変位する触針と、揺動による前記アームの変位を検出するための、変位センサ及びスケール型検出器と、を備え、前記触針は、前記アームの一方の端部である第１端部に設置され、前記変位センサ及び前記スケール型検出器の少なくとも一部は、前記アームの他方の端部である第２端部に設置され、前記支持部は、前記アームのよりも前記第２端部側寄りに設置されている形状測定機。【選択図】図１ |
