| 发明名称 |
静電チャック用の凸形の内面を有する環状エッジシール |
| 摘要 |
【課題】プラズマ中で使用される静電チャックにおいて、接着結合層を損傷から保護し、粒子汚染空も防ぐ静電チャックを提供する。【解決手段】環状エッジシール３００が、基板処理システムの静電チャックに形成された環状スロット１５３内に配置される。エッジシールは、環状本体、径方向内面３１０、径方向外面３０９、上面３１１および底面３１２を有する。径方向内面は凸形である。径方向外面、上面、および底面は、略平面状である。【選択図】図５ |
| 申请公布号 |
JP2017041631(A) |
申请公布日期 |
2017.02.23 |
| 申请号 |
JP20160152437 |
申请日期 |
2016.08.03 |
| 申请人 |
ラム リサーチ コーポレーションＬＡＭ ＲＥＳＥＡＲＣＨ ＣＯＲＰＯＲＡＴＩＯＮ |
发明人 |
マシュー・マイケル・リー |
| 分类号 |
H01L21/683;H01L21/3065;H02N13/00 |
主分类号 |
H01L21/683 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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