摘要 |
【課題】動作チェックに掛かる手間を十分に低減する。【解決手段】一方の挟み部内の検出電極34およびガード電極36と、他方の挟み部内のガード電極26と、反転入力端子が電極34に、非反転入力端子が電極36に接続されて電極34とこの電極34と容量結合する導体との間に流れる電流I1aを電圧信号S1に変換する演算増幅器を有し導体の電圧と電極36に印加されている印加電圧V4との間の電位差Vdiに応じて変化する検出信号S3を出力する電圧検出部35と、信号S3から電圧V4を生成して電極36に印加しつつ信号S3の電圧値が零に近づくように電圧V4の電圧値を制御する第1動作モードで動作する電圧生成部41と、電圧V4に比例した電圧測定用検出信号S6を出力する電圧出力部42とを備え、電圧生成部41は、電極36と切り離された電極26に基準振幅の基準交流電圧V6を出力しつつ、第1動作モードと同じ動作を実行する。【選択図】図2 |